设计用于集成到微电子芯片中的新型磁力计
摘要 UPC电子工程系的研究人员开发了一种新型磁力计，可以集成到微电子芯片中，并且与当前的集成电路完全兼容。该研究对电子系统和传感器的小型
UPC电子工程系的研究人员开发了一种新型磁力计，可以集成到微电子芯片中，并且与当前的集成电路完全兼容。该研究对电子系统和传感器的小型化产生了极大的兴趣，最近发表在Microsystems&Nanoengineering上。
微机电系统(MEMS)是最大限度地小型化到可以集成到芯片中的机电系统。它们存在于我们大多数的日常设备中，例如计算机、汽车制动系统和手机。将它们集成到电子系统中在尺寸、成本、速度和能效方面具有明显优势。但开发它们的成本很高，而且它们的性能通常会因与设备内其他电子系统不兼容而受到影响。
MEMS可用于开发磁力计——一种测量磁场以在导航过程中提供方向的设备，很像指南针——用于集成到智能手机和可穿戴设备或用于汽车行业。因此，最有前途的工作之一是洛伦兹力MEMS磁力计。
“这种利用技术提供了一个没有限制的大测量范围，因为它不需要铁磁材料。铁磁体使得测量变得困难，因为它们保留了以前测量的记忆，这被称为滞后现象，”该研究所的研究员JordiMadrenas解释道。加泰罗尼亚理工大学-巴塞罗那理工大学(UPC)。
智能传感器和集成系统(IS2)研究小组也应用这项技术来开发可以集成到微电子芯片中的磁力计。“这使我们能够将电子和机械部件组合成一个芯片，这与当前的标准程序不同，后者包括分别制造芯片然后将它们组合起来，”同样在巴塞罗那电信工程学院(ETSETB)任教的Madrenas补充道。
除了磁力计，该小组还使用相同技术开发了加速度计和压力传感器。这项研究为具有多个传感器和电子设备的芯片打开了大门。
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